PARK-AFM原子力显微镜

应用领域：
应用于：IC/IGBT/BGBT/SiC;
面板领域：全国唯一面板专用AFM供应商；
硬盘领域：市占率最高硬盘专用AFM；
微机电领域：全时间唯一可以转动的AFM，可以3D无死角扫描。

产品特点：

基板：8~12”Si，全片自动扫描；

类型：手动/自动；

扫描方式：非接触式，无损样品接触，探针寿命更长；

低噪声Z探测器，可精准测量AFM表面形貌；

闭环控制电动位移台；

高分辨率：

Z方向：马达位移分辨率为0.1µm，重复率为1µm；

Xy方向：马达位移分辨率为1µm，重复率为2µm。