PARK-AFM原子力显微镜
应用领域:
应用于:IC/IGBT/BGBT/SiC;
面板领域:全国唯一面板专用AFM供应商;
硬盘领域:市占率最高硬盘专用AFM;
微机电领域:全时间唯一可以转动的AFM,可以3D无死角扫描。
产品特点:
基板:8~12”Si,全片自动扫描;
类型:手动/自动;
扫描方式:非接触式,无损样品接触,探针寿命更长;
低噪声Z探测器,可精准测量AFM表面形貌;
闭环控制电动位移台;
高分辨率:
Z方向:马达位移分辨率为0.1µm,重复率为1µm;
Xy方向:马达位移分辨率为1µm,重复率为2µm。
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